竞争对手的等离子蚀刻设备电极采用什么方式/缺点是什么_珠海恒格微电子装备有限公司

竞争对手的等离子蚀刻设备电极采用什么方式/缺点是什么

2020-05-09 master 1724

竞争对手的等离子蚀刻设备电极采用：方通焊接/有焊接点，缺点是：升温速率慢、咬蚀速率慢、均匀性差、电极保养穿孔导致漏水；

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