等离子蚀刻机设备生产后的残留是在腔体内还是被抽走_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻机设备生产后的残留是在腔体内还是被抽走

2020-05-29 master 2662

等离子蚀刻机设备生产后的残留99%被抽走,部分会停留在腔壁以及电极。

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