等离子蚀刻设备均匀性计算公式出自何处？
2020-05-09
master
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等离子蚀刻设备均匀性计算公式出自：行业内通用的方法，[1-(max-min)/2*average]*100%
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等离子蚀刻设备均匀性计算公式出自：行业内通用的方法，[1-(max-min)/2*average]*100%
