等离子蚀刻设备机常用气体有几路？_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻设备机常用气体有几路？

2020-05-09 master 1750

等离子蚀刻设备机常用气体一般四路：氮气、氧气、CF4、氩气; 备用两路:氢气、氦气

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