等离子蚀刻设备各部件密封圈使用寿命？_珠海恒格微电子装备有限公司

等离子蚀刻设备各部件密封圈使用寿命？

2020-05-09 master 1752

等离子蚀刻设备各部件密封圈使用寿命：密封圈属于易损件，定期3个月更换/次

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