微波等离子蚀刻设备与挂驾式等离子蚀刻设备的区别？_珠海恒格微电子装备有限公司

微波等离子蚀刻设备与挂驾式等离子蚀刻设备的区别？

2020-05-09 master 1586

微波等离子蚀刻设备只做一张板,RF电源频率不一样。挂架式等离子蚀刻设备可以做多张板,RF电源是40KHZ。

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